委托人：中国建筑材料科学研究总院有限公司

评审鉴定时间：2020年9月10日

地点：北京

评审鉴定结论：

一、项目的关键技术和主要创新点如下：

1. 发明了常压大功率高频等离子体化学气相沉积石英玻璃砣体的合成方法，自主研制了200kW高频等离子体化学气相沉积核心装备，制备出羟基、金属杂质含量均小于1ppm、光学均匀性小于2ppm（Φ100mm）、应力双折射2nm/cm的超纯石英玻璃材料，填补了国内空白，达到国际先进水平。

2. 发明了消除光学玻璃亚表面损伤的抛光方法，解决了光学加工亚表面损伤难以消除的共性关键难题；发明了异形石英摆片二步酸刻蚀工艺方法，实现了高精度批量成形，满足了高精度惯性导航批量化生产要求。

3. 发明了基于激光三角法石英摆片装表前性能表征测试方法及装置，准确测量了石英摆片固有频率、下摆量，解决了石英摆片装表前稳定性无法表征的难题，提高了加速度计批量生产的成品率，加速度计分辨率达0.1μg。

二、项目已获授权发明专利9件，实用新型专利2件。项目已建成超纯石英玻璃材料、高稳定石英玻璃摆片批量化生产线，并形成了先进的检测能力。产品已在多家军工单位批量应用，效果良好。社会效益显著，市场前景广阔。

三、项目成果有力推动了我国超纯石英玻璃及器件的制造技术进步，是我国惯性导航领域加速度计关键材料及器件的重要支撑。

鉴定委员一致认为：项目成果达到国际先进水平。

建议：进一步拓展应用领域。

对该项目的鉴定如有异议，请于公示之日起20日内向中国建筑材料联合会结构调整与发展部反映（电话：010-57811106，联系人：潘东晖）。

中国建筑材料联合会结构调整与发展部

　　鉴 定 委 员 会 名 单